吸着プレート

焼結金属フィルター仕様 吸着プレート

吸着プレートには,吸着テーブル・吸着パッド・真空チャック・サクションプレート,ポーラスチャックなどいくつも呼び名がありますが、基本的にはどれも同じであります.よく目にするのはやはりSUS製焼結金属を使用した吸着盤ですが、弊社では積層焼結金網を使用した吸着プレートに力を入れております。ウェハーやフィルムの吸着,その他の吸着にもご使用頂けます.

 

吸着プレート・金網プレートの違い

焼結金属だと厚みが2~3mm以上無いと製造不可である為圧力損失が大きく吸引力・吸引量に欠点がある.それに対し、積層金網だと強度の事も考えると7層が望ましいがそれでも1mmである。しかも金網なので圧力損失は少なく,ツーツーである.

焼結フィルターを用いる事により,接触面が均一である.
積層焼結金網フィルターを用いる為,目びらき(メッシュ),厚み(積層枚数)の選択肢が増え,あらゆる用途に対応可能.
・金網の角部にRを付ける事により,素材進入時の引っかかりの問題を軽減.
・ステンレス(SUS)イレギュラー粉製焼結金属フィルター使用時では素材自体が尖っている為,表面を研磨・ラップ処理を施してもその面が削れてしまえば,柔らかい・薄い素材には刺さりかねない問題を解消.
・表面処理をする事により滑り性(耐摩耗性)を格段に向上させ,さらに静電気の発生を抑制できる.
・エアーで吸着させるので磁石に付かないような素材(樹脂・セラミックス・カーボンetc…)にも使用でき,チャッキングに治具を作製する必要がない.

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